在半导体制造迈向3nm、2nm甚至更先进制程的今天，工艺环境变得极端严苛——高真空、高温等离子体、强腐蚀性化学品的频繁考验，让设备的可靠性与稳定性成为行业核心痛点。而其中，看似微小的密封圈，实则是决定设备能否安全运行、工艺能否持续稳定的关键组件。一旦密封失效，轻则导致设备停机、晶圆报废，重则引发安全事故，造成数以百万计的经济损失。

为什么FFKM全氟醚成为半导体密封的“终 极材料”？

全氟醚橡胶（FFKM）被公认为橡胶密封材料中的“王.者”，其分子结构中完全氟化的特性使其具备近乎极 致的性能：

耐受高温：长期工作温度可达300℃以上，短期甚至可承受327℃；

抗等离子体侵蚀：在刻蚀、沉积等设备的高频等离子体环境中表现稳定；

抗化学腐蚀：对酸、碱、有机溶剂等具有极 佳的抵抗能力；

低析出、低释气：满足超高真空环境要求，避免污染工艺腔室。

正因如此，FFKM已成为高端半导体制造设备（如光刻、蚀刻、CVD/PVD）中不可替代的关键密封材料。而要实现FFKM密封圈的高可靠性，材料配方、模具设计、生产工艺任何一个环节都至关重要。

尼可（青岛）：中国半导体密封领域的技术突围者

在FFKM这一长期被海外巨头主导的高端材料市场中，尼可（青岛）高分子科技有限公司正凭借扎实的技术积累与制造实力，成为中国半导体工业密封解决方案的重要推动者。

笔者长期关注半导体供应链本土化进程，尼可公司是其中少数真正具备原创研发能力+精密制造体系+全球认证资质的企业。其发展路径，代表了中国高端橡胶制品从“替代进口”到“领 先创新”的典型跨越。

一、 技术研发：不只是“能做”，更是“能创新”

尼可研发团队占比超35%，每年研发投入超过营收8%，已获5项实用新型专利，并完成从全氟醚橡胶、耐高温橡胶到医用硅胶等多领域材料突破。公司设立专业材料实验室与工艺研发中心，可模拟半导体设备中的高真空、等离子体、强腐蚀等极端环境，进行密封方案的定向开发和寿命测试。

这意味着，尼可不仅能够生产“标准件”，更能为客户定制开发适用于特定设备与工况的密封产品——而这正是半导体设备商核心的需求。

二、 精密制造：用数字化系统实现“零缺陷”管理

尼可引进德国全自动橡胶注射机、日本三坐标测量仪等精密设备，构建智能化生产线。通过ERP+MES系统实现全流程质量追溯：从原料批次、硫化参数到成品检测数据全部可回溯。这种近乎“偏执”的质量管控，正是半导体行业对一致性、高可靠性的极 致要求所决定的。

三、 产品矩阵：覆盖半导体全制造环节

尼可的FFKM密封圈产品体系完整覆盖半导体设备场景：

真空腔室密封：用于蚀刻、CVD/PVD设备，保障密闭与洁净；

大口径密封圈：直径范围1mm~9800mm，解决非标设备需求；

包覆密封圈（橡胶+PTFE）：兼顾弹性与抗腐蚀，用于特殊传输环境；

晶圆处理组件：包括吸盘、传输环等，避免晶圆污染与机械损伤。

这不仅降低了客户的采购复杂度，也更利于密封系统的匹配性与整体可靠性提升。

四、 材料与认证：从源头保证可信度

尼可坚持选用杜邦、朗盛、信越、LG化学等全球顶 尖原材料，并通过ROHS、REACH、FDA、SGS等国际认证，符合CE、UL等市场准入要求。这意味着其产品不仅可用于半导体，也能延伸至食品医药、航空航天等更苛刻的领域。

五、 全球服务与快速响应

依托青岛区位优势（毗邻胶东机场与青岛港），尼可具备高效的全球交付能力。其“72小时快速样品响应”“成本优化15%~20%”以及FMEA/PPAP风险管控服务，显示出以客户为中心的深度服务能力。目前业务已覆盖欧美、日韩、东南亚等10余个国家与地区。

结语：FFKM只是起点，供应链自主才是终点

在笔者看来，像尼可（青岛）高分子科技这样的企业，正在做的已不仅是“密封圈”的生意，更是通过关键零部件的技术突破，支撑中国半导体产业链的自主与安全。

2025年，随着全球半导体产能进一步扩张，以及先进制程的不断演进，FFKM密封圈的市场需求将持续攀升。而只有真正掌握材料技术、精密工艺与全程质控的企业，才能在这场高门槛的竞争中成为“持续的输出者”。

尼可公司，值得被行业看见。